凈化廠房滅火器的配置應遵循以下原則：

首先，滅火器的選擇應考慮潔凈廠房的特殊環境，避免選用化學干粉滅火劑、泡沫滅火劑等可能對工藝設備和潔凈室環境產生污染和腐蝕作用的滅火劑。通常，二氧化碳滅火劑因其滅火后不留痕跡、不污損、不腐蝕保護物品的特點，在潔凈室內得到普遍使用。

其次，滅火器的配置數量和位置應滿足規范要求。滅火器應設置在位置明顯且便于取用的地點，如走廊、墻角等，且不得影響安全疏散。同時，應考慮潔凈廠房的面積、火災危險等級等因素，合理配置滅火器的數量和種類。

最后，滅火器的維護和管理同樣重要。應定期檢查滅火器的壓力、外觀等是否正常，確保其處于良好狀態。同時，應對操作人員進行滅火器使用方法的培訓，以提高應急處理能力。